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●ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです。●複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより、通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています。
●広域型ターボ分子ポンプのバックポンプ●クライオポンプ排気系のバックポンプ●メカニカルブースターポンプのバックポンプ●ロードロック室排気●吸着搬送、ハンドリング●レーザーガス循環・排気用●真空乾燥装置、凍結真空乾燥装置
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[本体質量:16.4kg] 《包装時基本サイズ:440×350×330mm》〔包装時質量:18.4kg〕
☆納期情報:在庫色(外紫) メーカー直送品【法人限定=会社名ご記入お願い致します。】
特長
●ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです。
●複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより、通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています。
用途
●広域型ターボ分子ポンプのバックポンプ
●クライオポンプ排気系のバックポンプ
●メカニカルブースターポンプのバックポンプ
●ロードロック室排気
●吸着搬送、ハンドリング
●レーザーガス循環・排気用
●真空乾燥装置、凍結真空乾燥装置
●到達圧力(Pa):100
●吸気口径(mm):KF-16
●排気口径(mm):サイレンサ
●電源(V):単相100-230V
●寸法(mm):239×325×198
●到達圧力(KPa):0.1
●最大寸法(mm):239(W)×325(L)×198(H)
●腐食性ガス、有機溶剤、液体及び凝縮性ガス(水蒸気等)は吸引しないでください。また、ゴミやホコリ等がポンプ内に入らないようにしてください。
●大気圧付近での長時間運転はしないでください。
●出荷時の電圧は230Vに設定しています。100V系にてご使用の場合は、電圧切替えスイッチを100V系に切替えください。電圧切替えは必ずポンプを主電源から外した状態で実施ください。
●200V系でご使用の際には、お客様にて付属の100V用電源コードの先端を切断し、使用状況に適した先端処理を実施ください。先端プラグの最大使用電圧は125Vのため、200V系では使用できません。
工事・照明用品
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