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【商品説明】
【仕様】
接続フランジ:CF70FH-CF70FT
●動作範囲:XY方向/±5mm、角度/0~5°(角度調節付きのみ)
●駆動方式:手動
●使用圧力範囲:高真空(1×10^-6Pa)~大気圧
●ヘリウムリーク量:1.0×10^-9Pa・m3/s
●ベーキング温度:150℃以下
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