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【特長】
●AWシリーズは半導体製造装置の開発・プロセス条件出しや温度分布計測に必要不可欠な”熱電対付きシリコンウェーハ”です
【用途】
●シリコンウェーハを用いた半導体製造工程でのレジスト装置内のステージ温度測定等▲■
【注意事項】
●検査成績書は標準付属です。▲
【仕様】
●使用温度範囲(度):0~500
●100~200度における許容差(度):±5.0
●熱電対の種類:Kタイプ
●ウェーハサイズ(インチ):5
●センサ点数:5
●絶縁被覆材質:アルミナ繊維スリーブ
●コードの長さ(m):1
●プラグ形状:ミニプラグ
0~500
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