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【新作/特典付】送料無料！！【エフコン FCON】マスフローコントローラー 10SLM He 3-6946-04 C1020-4S2-10L-He メーカー直送代引不可【smtb-u】｜あきばお～支店

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商品情報

送料無料！！【エフコン FCON】マスフローコントローラー 10SLM He 3-6946-04 C1020-4S2-10L-He メーカー直送代引不可【smtb-u】｜あきばお～支店

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▼こちらの商品に関するご注意事項━━━━━━━━━━━━━

こちらの商品は代引きでのお申し込みはお受けしておりません。

【特徴】
●熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。
【仕様】
●型番:C1020-4S2-10L-He
●流量(SLM):10
●ガス:He
●流量精度:±2%FS(精度保証範囲15～35℃)
●再現性:±0.2%FS
●流量制御範囲:5～100%FS
●流体:気体
●使用可能温度:5～50℃ 85%RH以下
●応答性:6sec
●動作圧力範囲:50～300kPa
●耐圧:1MPa(G)
●外部リークレート:1×10-7Pa・m3/sec(He)以下
●接ガス部材質:SUS316・PTFE・フッ素ゴム
●表面処理:機械加工仕上げ
●継手:1/4in.SWL相当
●入出力:アナログ信号(0～5VDC)
●バルブ形式:N/O ノーマルオープン
●駆動電源:+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
●通信方式:アナログ0～5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
●サイズ:160×33.6×105mm
※こちらの商品は、メーカーでの長期欠品や生産終了を理由に、ご注文をキャンセルさせて頂く場合もございますので、あらかじめご了承願います。

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