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商品の仕様 ●流量(LM):100●ガス:N2●流量精度:±2%FS(精度保証範囲15~35℃)●再現性:±0.5%FS●流量制御範囲:5~100%FS●流体:気体●使用可能温度:5~50℃85%RH以下●応答性:15sec●動作圧力範囲:200~300kPa●耐圧:1MPa(G)●外部リークレート:1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下●接ガス部材質:SUS316・PTFE・フッ素ゴム●表面処理:機械加工仕上げ●継手:1/4in.SWL相当●入出力:アナログ信号(0~5VDC)●バルブ形式:N/Oノーマルオープン●駆動電源:+15VDC±5%60mA、-15VDC±5%150mA●通信方式:アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)●サイズ:160×33.6×105mm
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